Cov pa roj uas muaj qhov huv siab heev (UHP) yog lub neej tseem ceeb ntawm kev lag luam semiconductor. Raws li qhov kev thov tsis tau muaj dua thiab kev cuam tshuam rau cov saw hlau thoob ntiaj teb thawb tus nqi ntawm cov pa roj uas muaj qhov siab heev, kev tsim cov semiconductor tshiab thiab kev tsim khoom ua rau muaj kev tswj hwm kev ua qias tuaj ntau ntxiv. Rau cov chaw tsim khoom semiconductor, kev muaj peev xwm ua kom huv ntawm cov pa roj UHP yog qhov tseem ceeb dua li yav dhau los.

Cov Pa roj Ultra High Purity (UHP) Yog Qhov Tseem Ceeb Kawg Nkaus Hauv Kev Tsim Khoom Siv Semiconductor Niaj Hnub

Ib qho ntawm cov ntawv thov tseem ceeb ntawm UHP roj yog inertization: UHP roj yog siv los muab ib puag ncig tiv thaiv huab cua nyob ib puag ncig cov khoom semiconductor, yog li tiv thaiv lawv los ntawm cov teebmeem tsis zoo ntawm cov dej noo, oxygen thiab lwm yam pa phem hauv huab cua. Txawm li cas los xij, inertization tsuas yog ib qho ntawm ntau yam haujlwm sib txawv uas cov roj ua haujlwm hauv kev lag luam semiconductor. Txij li cov roj plasma thawj zaug mus rau cov roj reactive siv hauv etching thiab annealing, cov roj siab ultra-siab yog siv rau ntau lub hom phiaj sib txawv thiab tseem ceeb thoob plaws hauv cov saw hlau semiconductor.

Qee cov roj "core" hauv kev lag luam semiconductor suav nrognitrogen(siv ua kev ntxuav dav dav thiab roj inert),argon(siv ua cov roj plasma tseem ceeb hauv kev ua kom tawv nqaij thiab kev tso cov tshuaj tiv thaiv),helium(siv ua roj inert nrog cov khoom siv hloov pauv cua sov tshwj xeeb) thiabhydrogen(ua ntau lub luag haujlwm hauv annealing, deposition, epitaxy thiab plasma cleaning).

Raws li thev naus laus zis semiconductor tau hloov zuj zus thiab hloov pauv, cov pa roj siv hauv cov txheej txheem tsim khoom kuj tseem hloov pauv. Niaj hnub no, cov chaw tsim khoom semiconductor siv ntau yam pa roj, los ntawm cov pa roj zoo xws likryptonthiabneonrau cov hom tshuaj reactive xws li nitrogen trifluoride (NF 3) thiab tungsten hexafluoride (WF 6).

Kev thov kom muaj kev huv si ntau zuj zus

Txij li thaum tsim thawj lub microchip lag luam, lub ntiaj teb tau pom qhov kev nce qib ze li ntawm exponential hauv kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv semiconductor. Tau tsib xyoos dhau los, ib txoj hauv kev tseeb tshaj plaws los ua tiav hom kev txhim kho kev ua tau zoo no yog los ntawm "kev ntsuas qhov loj me": txo cov qhov tseem ceeb ntawm cov qauv chip uas twb muaj lawm kom muaj ntau lub transistors rau hauv ib qho chaw. Ntxiv rau qhov no, kev tsim cov qauv chip tshiab thiab kev siv cov khoom siv tshiab tau ua rau muaj kev nce qib hauv kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv.

Niaj hnub nim no, qhov loj me ntawm cov khoom siv semiconductor tshiab tam sim no me heev uas qhov kev ntsuas qhov loj me tsis yog txoj hauv kev zoo los txhim kho kev ua haujlwm ntawm cov khoom siv. Hloov chaw, cov kws tshawb fawb semiconductor tab tom nrhiav kev daws teeb meem hauv daim ntawv ntawm cov ntaub ntawv tshiab thiab cov qauv 3D chip.

Ntau xyoo ntawm kev tsim kho dua tshiab tsis muaj kev nkees txhais tau tias cov khoom siv semiconductor niaj hnub no muaj zog dua li cov microchips qub - tab sis lawv kuj tsis khov kho. Kev tshwm sim ntawm 300mm wafer fabrication technology tau ua rau qib kev tswj hwm kev tsis huv uas xav tau rau kev tsim khoom semiconductor nce ntxiv. Txawm tias qhov kev ua qias me me hauv cov txheej txheem tsim khoom (tshwj xeeb tshaj yog cov pa roj tsawg lossis inert) tuaj yeem ua rau cov khoom siv puas tsuaj loj heev - yog li qhov huv ntawm cov roj tam sim no tseem ceeb dua puas tau.

Rau ib lub Hoobkas tsim cov khoom siv semiconductor, cov roj ultra-high-purity twb yog cov nqi khoom siv loj tshaj plaws tom qab silicon nws tus kheej. Cov nqi no tsuas yog xav tias yuav nce ntxiv thaum qhov kev thov rau semiconductors nce mus rau qib siab tshiab. Cov xwm txheej hauv Tebchaws Europe tau ua rau muaj kev cuam tshuam ntxiv rau kev lag luam roj av ultra-high pressure. Ukraine yog ib lub tebchaws xa khoom loj tshaj plaws hauv ntiaj teb ntawm cov roj high-purity.neoncov cim qhia; Lavxias teb sab kev ntxeem tau txhais tau tias kev muab cov roj tsawg tsawg raug txwv. Qhov no ua rau muaj kev tsis txaus thiab tus nqi siab dua ntawm lwm cov roj zoo xws likryptonthiabxenon.