Ultra-high purity (UHP) gases yog cov hlab ntsha ntawm kev lag luam semiconductor. Raws li qhov kev thov tsis tau pom dua thiab muaj kev cuam tshuam rau cov khoom siv thoob ntiaj teb thawb tus nqi ntawm cov roj hluav taws xob siab siab, cov khoom siv hluav taws xob tshiab tsim thiab kev tsim khoom tau nce qib ntawm kev tswj cov pa phem uas xav tau. Rau cov tuam txhab semiconductor, muaj peev xwm los xyuas kom meej qhov purity ntawm UHP roj tseem ceeb dua puas tau.

Ultra High Purity (UHP) Gases yog qhov tseem ceeb heev nyob rau hauv niaj hnub Semiconductor Manufacturing

Ib qho ntawm cov kev siv tseem ceeb ntawm UHP roj yog inertization: UHP roj yog siv los muab kev tiv thaiv ib puag ncig ntawm cov khoom siv semiconductor, yog li tiv thaiv lawv los ntawm kev puas tsuaj ntawm ya raws, oxygen thiab lwm yam khoom paug hauv huab cua. Txawm li cas los xij, inertization tsuas yog ib qho ntawm ntau txoj haujlwm sib txawv uas cov pa roj ua haujlwm hauv kev lag luam semiconductor. Los ntawm thawj cov pa roj plasma rau cov roj reactive siv hauv etching thiab annealing, ultra-high pressure gases yog siv rau ntau lub hom phiaj sib txawv thiab yog qhov tseem ceeb thoob plaws hauv cov khoom siv semiconductor.

Qee qhov "core" gases hauv kev lag luam semiconductor suav nrognitrogen(siv raws li kev ntxuav dav dav thiab inert gas),argon(siv raws li cov pa roj plasma hauv etching thiab deposition tshua),helium(siv raws li ib tug inert gas nrog tshwj xeeb tshav kub-hloov zog) thiabhydrogen(ua si ntau lub luag haujlwm hauv annealing, deposition, epitaxy thiab plasma tu).

Raws li cov tshuab semiconductor tau hloov zuj zus thiab hloov pauv, yog li muaj cov roj siv hauv kev tsim khoom. Niaj hnub no, cov chaw tsim khoom siv hluav taws xob semiconductor siv ntau yam roj av, los ntawm cov roj zoo xws likrypton uathiabneonrau reactive hom xws li nitrogen trifluoride (NF 3) thiab tungsten hexafluoride (WF 6).

Loj hlob thov rau purity

Txij li thaum lub invention ntawm thawj coj mus muag microchip, lub ntiaj teb no tau pom ib tug astonishing ze-exponential nce nyob rau hauv kev ua tau zoo ntawm semiconductor li. Tshaj li tsib xyoos dhau los, ib txoj hauv kev zoo tshaj plaws kom ua tiav qhov kev txhim kho kev ua tau zoo no yog los ntawm "size scaling": txo qhov loj me ntawm cov chip architectures uas twb muaj lawm txhawm rau nyem ntau dua transistors rau hauv qhov chaw muab. Ntxiv rau qhov no, txoj kev loj hlob ntawm cov tshiab chip architectures thiab kev siv cov ntaub ntawv txiav-ntug tau ua leaps hauv kev ua tau zoo ntawm cov cuab yeej.

Niaj hnub no, qhov tseem ceeb ntawm qhov kev txiav-ntug semiconductors tam sim no me me uas qhov ntsuas qhov loj me tsis yog txoj hauv kev siv tau los txhim kho cov cuab yeej ua haujlwm. Hloov chaw, cov kws tshawb fawb semiconductor tab tom nrhiav kev daws teeb meem hauv cov ntaub ntawv tshiab thiab 3D chip architectures.

Ntau xyoo ntawm kev rov tsim dua tshiab txhais tau tias niaj hnub no cov khoom siv hluav taws xob semiconductor muaj zog dua li cov microchips qub - tab sis lawv kuj tsis yooj yim dua. Lub advent ntawm 300mm wafer fabrication tshuab tau nce qib ntawm impurity tswj yuav tsum tau rau semiconductor manufacturing. Txawm tias me ntsis kev kis kab mob hauv cov txheej txheem tsim khoom (tshwj xeeb tsis tshua muaj lossis tsis muaj roj) tuaj yeem ua rau muaj kev puas tsuaj rau cov khoom siv tsis ua haujlwm - yog li roj purity tam sim no tseem ceeb dua qub.

Rau ib tug raug semiconductor fabrication cog, ultra-high-purity gas twb yog cov khoom siv loj tshaj plaws tom qab silicon nws tus kheej. Cov nqi no tsuas yog xav tias yuav nce ntxiv raws li qhov kev thov rau semiconductors soars mus rau qhov siab tshiab. Cov xwm txheej hauv Tebchaws Europe tau ua rau muaj kev cuam tshuam ntxiv rau kev lag luam kev lag luam ultra-siab siab. Ukraine yog ib lub ntiaj teb loj tshaj plaws exporters ntawm high-purityneoncov cim; Russia txoj kev ntxeem tau txhais tau hais tias cov khoom siv ntawm cov roj tsawg tau raug txwv. Qhov no nyob rau hauv lem coj mus rau tsis txaus thiab tus nqi siab dua ntawm lwm yam noble gases xws likrypton uathiabxenon.