Laser roj

Laser roj yog tsuas yog siv rau laser annaling thiab cov roj ntsha hauv cov khoom siv hluav taws xob. Tau txais txiaj ntsig los ntawm Innovation ntawm txawb xov tooj ntawm txawb xov tooj thiab kev nthuav dav ntawm cov txheej txheem ntawm cov khoom siv uas tau nthuav dav, thiab cov txheej txheem laser no tau nthuav dav ntxiv, thiab cov txheej txheem laser no tau txuas ntxiv txhim kho cov kev ua tau zoo ntawm cov tfts. Ntawm cov Nonon, Fluorine, thiab Argon Gases siv nyob rau hauv lub arf excimer laser rau kev tsim cov semiconductors, neon nyiaj rau ntau tshaj li 96% ntawm lub laser roj sib tov. Nrog rau kev ua kom zoo ntawm cov thev naus laus zis semiconductor, kev siv cov neeg ua haujlwm nce ntxiv, thiab kev qhia ntawm ob lub peev xwm tau nce rau ntawm cov neeg siv nyiaj txiag ua ntej. Tau txais txiaj ntsig los ntawm kev txhawb nqa ntawm lub zos ntawm cov roj txheem tshwj xeeb hauv hluav taws xob, cov chaw tsim khoom hauv tsev yuav muaj qhov chaw ua lag luam tau zoo dua yav tom ntej.

Lithogy lub cav yog cov cuab yeej tseem ceeb ntawm cov khoom tsim kho cov khoom lag luam. Lithogy txhais tau qhov loj me ntawm cov transistors. Txoj kev sib raug zoo ntawm txoj kev sib txuas lus Lithography yog tus yuam sij rau kev hloov ntawm lub teb chaws. Cov ntaub ntawv sib xws semiconductor xws li cov photoresist, photolithography roj, photomasask, thiab txheej thiab kev tsim cov ntsiab lus thev naus laus zis siab. Cov roj lithograph yog cov roj uas lub tshuab lam tau ua rau tob ultraviolet laser. Cov roj ntsha sib txawv cov roj ntsha tuaj yeem tsim cov wavelengths sib txawv, thiab lawv cov nthwv dej ncaj qha cuam tshuam cov kev daws teeb meem ntawm lub ceg tawv ntawm lub lithography. Xyoo 2020, tag nrho cov muag khoom thoob ntiaj teb yuav muaj 413, Canon Muag Khoom 122, Canon Muag 33 Chav Nyob Accounted rau 8%.