Hauv kev tsim khoom ntawm cov sicultonductor wafer foundries nrog cov txheej txheem ntau lawm, ze li 50 hom pa ntxiv. Gases feem ntau muab faib ua cov roj choj thiabCov Khoom Siv Tshwj Xeeb Tshwj Xeeb.

Daim ntawv thov ntawm gases nyob rau hauv microelectronics thiab semiconductor kev lag luam muaj ib txwm ua cov roj txheem semiconductor tau ib txwm siv dav hauv ntau yam kev lag luam. Los ntawm Ulsi, TFT rau tam sim no micro-electromeChanical (memiconductor cov txheej txheem yog siv los ua cov khoom lag luam, oxidation, nyias zaj duab xis, lo lus nyias nyias, thiab lwm yam.

Piv txwv li, ntau tus neeg paub tias cov chips yog tsim los ntawm cov xuab zeb, tab sis xav tau txhua cov txheej txheem ntawm chip tsim, xws li cov khoom siv persoresist, cov khoom siv tshwj xeeb, thiab lwm yam. Lub ntim thaub qab tas ntxiv tseem yuav tsum tau substrates, yuav tsum nkag siab, txhuas cov ntawv, thiab lwm yam khoom siv. Cov roj hluav taws xob tshwj xeeb yog cov khoom siv loj tshaj plaws hauv cov nqi tsim khoom tom qab Silicon Wafers, ua raws li cov ntsej muag thiab cov pheb duab.

Lub purity ntawm cov roj muaj cov kev txiav txim siab ntawm kev ua haujlwm thiab cov khoom lag luam muaj feem cuam tshuam nrog kev noj qab haus huv ntawm cov neeg ua haujlwm thiab kev nyab xeeb ntawm kev ua haujlwm Hoobkas. Vim li cas cov kev ntshiab ntawm cov roj muaj qhov cuam tshuam zoo rau cov txheej txheem kab thiab cov neeg ua haujlwm? Qhov no tsis yog kev exaggeration, tab sis yog txiav txim siab los ntawm cov yam ntxwv txaus ntshai ntawm cov roj hauv nws tus kheej.

Kev faib tawm cov pa roj hauv cov kev lag luam semiconduct

Cov roj zoo tib yam

Cov roj dog dig yog tseem hu ua cov roj loj: nws yog hais txog cov roj uas yuav tsum muaj qis dua 5n thiab cov ntim loj thiab muag khoom. Nws tuaj yeem muab faib ua cov roj sib cais roj thiab hluavtaws roj raws li kev npaj sib txawv. Hydrogen (H2), nitrogen (n2), oxygen (O2), Argon (A2), thiab lwm yam;

Cov roj txheem tshwj xeeb

Cov pa roj txheem tshwj xeeb yog hais txog cov roj uas siv nyob rau hauv cov teb uas tshwj xeeb thiab muaj cov cai tshwj xeeb rau kev coj dawb huv, ntau yam, thiab khoom. Tseem ceebSii4, PH3, B2H6, A8H3,Thr, Cf4,Nh3, POCL3, SIIH2CL2, SIKCL3,Nh3, BCL3, Sif4, Clf3, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... Thiab lwm yam.

Cov Khoom Siv Hluav Taws Xob

Hom Kev Siv Hluav Taws Tshwj Xeeb: Corrosive, lom, flammable, combusction-txhawb nqa, inert, thiab lwm yam.
Feem ntau siv cov roj semiconductor tau muab cais raws li hauv qab no:
(i) Corrosive / Toxic:Thr, BF3, WF6, HBR, SIH2CL2, NH3, PH3, CL2,BCL3...
(II) nplaim taws: h2,Roob tim si li,Sii4, PH3, ASIH3, SIIH2CL2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO ...
(III) combustible: O2, CL2, N2O, NF3 ...
(iv) inert: n2,Cf4, C2f6,C4F8,SF6, CO2,Ne,Kr, Nws ...

Nyob rau hauv cov txheej txheem ntawm semiconductor chip tsim, txog 50 ntau hom roj tshwj xeeb (dipusion, photolithography thiab lwm cov txheej txheem, thiab tag nrho cov txheej txheem qib siab tshaj li ntau pua. Piv txwv li, PH3 thiab ASH3 tau siv los ua cov txheej txheem phosphorus thiab cov roj ntsha ua rau cov txheej txheem tso tawm, F-ion based based ion based impl ion based impl

Los ntawm cov kev sib tham saum toj no, peb tuaj yeem nkag siab tias ntau semiconductor gases muaj kev phom sij rau tib neeg lub cev. Tshwj xeeb, qee cov roj av, xws li Sih4, yog qhov tsis huv tus kheej. Tsuav lawv xau, lawv yuav tawm tsam kev sib tw nrog oxygen hauv huab cua thiab pib hlawv; Thiab Ash3 yog muaj kuab heev. Tej zaum mob me ntsis yuav ua rau muaj kev phom sij rau tib neeg lub neej, yog li cov cai tswjfwm kev tsim kho rau kev siv cov roj tshwj xeeb tshwj xeeb.

Semicondardors yuav tsum muaj cov roj av siab kom muaj "peb qib"

Roj Purity

Cov ntsiab lus ntawm cov huab cua impigity nyob rau hauv cov pa roj feem ntau qhia raws li feem pua ​​ntawm cov purity purity, xws li 99.999%. Feem ntau hais lus, cov kev xav tau purity rau cov roj txheem hluav taws xob tshwj xeeb mus txog 5n, thiab tseem tau qhia tawm los ntawm cov kev sib piv ntawm cov neeg Impuction), thiab ppt (ib feem nyob rau hauv trillion). Lub tshuab hluav taws xob semiconductor muaj qhov siab tshaj plaws rau cov roj av tshwj xeeb thiab kev ua tsis tau zoo ntawm cov roj txheem tshwj xeeb uas muaj feem ntau tshaj 6n.

Qho qhuav

Cov ntsiab lus ntawm cov dej ntawm cov roj hauv cov roj, lossis ntub dej, feem ntau yog qhia nyob rau hauv lwg point, xws li atmospheric deew point -70 ℃.

Kev huv

Tus naj npawb ntawm cov pa paug nyob rau hauv cov pa roj, hais nrog qhov loj me ntawm μm, yog qhia txog pes tsawg cov lus / m3. Rau compressed huab cua, nws feem ntau qhia nyob rau hauv mg / m3 ntawm unavoidable khoom seem, uas tau suav cov roj teeb.