Hauv cov txheej txheem tsim khoom ntawm cov chaw tsim khoom semiconductor wafer nrog cov txheej txheem tsim khoom siab heev, yuav luag 50 hom roj sib txawv yog qhov xav tau. Cov roj feem ntau muab faib ua cov roj loj thiabcov pa roj tshwj xeeb.

Kev siv cov roj hauv kev lag luam microelectronics thiab semiconductor Kev siv cov roj yeej ib txwm ua lub luag haujlwm tseem ceeb hauv cov txheej txheem semiconductor, tshwj xeeb tshaj yog cov txheej txheem semiconductor siv dav hauv ntau yam kev lag luam. Los ntawm ULSI, TFT-LCD mus rau kev lag luam micro-electromechanical (MEMS) tam sim no, cov txheej txheem semiconductor siv los ua cov txheej txheem tsim khoom, suav nrog kev ziab qhuav, oxidation, ion implantation, nyias zaj duab xis deposition, thiab lwm yam.

Piv txwv li, ntau tus neeg paub tias cov chips yog ua los ntawm xuab zeb, tab sis saib tag nrho cov txheej txheem ntawm kev tsim cov chips, ntau cov ntaub ntawv xav tau, xws li photoresist, kua polishing, cov khoom siv target, roj tshwj xeeb, thiab lwm yam yog qhov tseem ceeb. Kev ntim khoom tom qab kuj xav tau cov substrates, interposers, cov thav duab txhuas, cov ntaub ntawv sib txuas, thiab lwm yam ntawm ntau yam ntaub ntawv. Cov roj hluav taws xob tshwj xeeb yog cov khoom siv thib ob loj tshaj plaws hauv cov nqi tsim khoom semiconductor tom qab silicon wafers, ua raws li cov ntsej muag thiab photoresists.

Qhov huv ntawm cov roj muaj feem cuam tshuam rau kev ua haujlwm ntawm cov khoom thiab cov khoom tsim tawm, thiab kev nyab xeeb ntawm kev muab roj muaj feem cuam tshuam nrog kev noj qab haus huv ntawm cov neeg ua haujlwm thiab kev nyab xeeb ntawm kev ua haujlwm hauv Hoobkas. Vim li cas qhov huv ntawm cov roj muaj feem cuam tshuam loj heev rau cov txheej txheem thiab cov neeg ua haujlwm? Qhov no tsis yog kev hais ua kom dhau, tab sis yog txiav txim siab los ntawm cov yam ntxwv txaus ntshai ntawm cov roj nws tus kheej.

Kev faib tawm ntawm cov pa roj uas siv ntau hauv kev lag luam semiconductor

Roj av ib txwm muaj

Cov roj av ib txwm hu ua cov roj loj: nws yog hais txog cov roj lag luam uas muaj qhov yuav tsum tau ua kom huv qis dua 5N thiab muaj ntau thiab muag khoom ntau. Nws tuaj yeem muab faib ua cov roj sib cais cua thiab cov roj hluavtaws raws li ntau txoj kev npaj sib txawv. Hydrogen (H2), nitrogen (N2), oxygen (O2), argon (A2), thiab lwm yam.

Cov Roj Tshwj Xeeb

Cov roj tshwj xeeb yog cov roj siv hauv kev lag luam uas siv rau hauv cov teb tshwj xeeb thiab muaj cov kev cai tshwj xeeb rau kev huv, ntau yam, thiab cov khoom. Feem ntauSiH4, PH3, B2H6, A8H3,HCL, CF4,NH3, POCL3, SIH2CL2, SIHCL3,NH3, BCL3, SIF4, CLF3, CO, C2F6, N2O, F2, HF, HBR,SF6... thiab lwm yam.

Hom roj Spicial

Cov hom roj tshwj xeeb: corrosive, toxic, flammable, combustion-supporting, inert, thiab lwm yam.
Cov pa roj semiconductor uas siv ntau feem ntau raug faib ua cov hauv qab no:
(i) Ua xeb/ua lom:HCl、BF3、WF6、HBr、SiH2Cl2、NH3、PH3、Cl2、BCl3...
(ii) Yooj yim kub hnyiab: H2、CH4,SiH4PH3, AsH3, SiH2Cl2, B2H6, CH2F2, CH3F, CO...
(iii) Hluav Taws Xob Tau: O2, Cl2, N2O, NF3…
(iv) Inert: N2,CF4,C2F6 ,C4F8,SF6,CO2,Ne,Kr, Nws ...

Hauv cov txheej txheem ntawm kev tsim cov khoom siv semiconductor chip, muaj li 50 hom roj tshwj xeeb sib txawv (hu ua cov roj tshwj xeeb) siv rau hauv kev oxidation, diffusion, deposition, etching, txhaj tshuaj, photolithography thiab lwm yam txheej txheem, thiab tag nrho cov kauj ruam txheej txheem ntau tshaj pua pua. Piv txwv li, PH3 thiab AsH3 siv ua phosphorus thiab arsenic qhov chaw hauv cov txheej txheem ion implantation, F-based gases CF4, CHF3, SF6 thiab halogen gases CI2, BCI3, HBr feem ntau siv hauv cov txheej txheem etching, SiH4, NH3, N2O hauv cov txheej txheem zaj duab xis deposition, F2/Kr/Ne, Kr/Ne hauv cov txheej txheem photolithography.

Los ntawm cov ntsiab lus saum toj no, peb tuaj yeem nkag siab tias ntau cov pa roj semiconductor muaj teeb meem rau tib neeg lub cev. Tshwj xeeb, qee cov pa roj, xws li SiH4, yog nws tus kheej ua rau hluav taws. Tsuav yog lawv xau, lawv yuav ua rau muaj kev kub ntxhov nrog cov pa oxygen hauv huab cua thiab pib hlawv; thiab AsH3 muaj tshuaj lom heev. Txhua qhov xau me me tuaj yeem ua rau tib neeg lub neej raug mob, yog li qhov yuav tsum tau ua rau kev nyab xeeb ntawm kev tsim qauv tswj hwm rau kev siv cov pa roj tshwj xeeb yog qhov siab heev.

Cov khoom siv semiconductors xav tau cov pa roj purity siab kom muaj "peb degrees"

Kev huv ntawm cov roj

Cov ntsiab lus ntawm cov huab cua tsis huv hauv cov roj feem ntau yog qhia ua feem pua ​​ntawm cov roj huv, xws li 99.9999%. Feem ntau hais lus, qhov kev xav tau ntawm kev huv rau cov roj hluav taws xob tshwj xeeb ncav cuag 5N-6N, thiab kuj tau qhia los ntawm qhov ntim piv ntawm cov huab cua tsis huv ppm (ib feem ib lab), ppb (ib feem ib billion), thiab ppt (ib feem ib trillion). Lub tshav pob hluav taws xob semiconductor muaj qhov xav tau siab tshaj plaws rau kev huv thiab kev ruaj khov zoo ntawm cov roj tshwj xeeb, thiab kev huv ntawm cov roj hluav taws xob tshwj xeeb feem ntau ntau dua 6N.

Kev qhuav

Cov dej me me hauv cov roj, lossis qhov ntub dej, feem ntau yog qhia ua cov dej noo, xws li cov dej noo hauv huab cua -70 ℃.

Kev Huv Si

Tus naj npawb ntawm cov khoom me me uas ua rau muaj kuab paug hauv cov pa roj, cov khoom me me uas muaj qhov loj me ntawm µm, yog qhia ua pes tsawg lub khoom me me/M3. Rau cov cua uas raug nias, feem ntau nws yog qhia ua mg/m3 ntawm cov khoom seem uas tsis zam tau, uas suav nrog cov roj.