Tungsten hexafluoride (WF6) raug tso rau ntawm qhov chaw ntawm wafer los ntawm cov txheej txheem CVD, sau cov hlau sib txuas trenches, thiab tsim cov hlau sib txuas ntawm cov khaubncaws sab nraud povtseg.
Ua ntej, cia peb tham txog plasma. Plasma yog ib hom khoom uas feem ntau yog tsim los ntawm cov electrons dawb thiab cov ions them. Nws muaj nyob thoob plaws hauv lub ntiaj teb thiab feem ntau suav hais tias yog lub xeev thib plaub ntawm cov khoom. Nws hu ua lub xeev plasma, tseem hu ua "Plasma". Plasma muaj kev ua hluav taws xob siab thiab muaj kev sib txuas zoo nrog lub teb hluav taws xob. Nws yog ib qho roj ionized ib nrab, tsim los ntawm electrons, ions, cov radicals dawb, cov khoom nruab nrab, thiab photons. Lub plasma nws tus kheej yog ib qho sib xyaw ua ke uas muaj cov khoom siv lub cev thiab tshuaj lom neeg.
Cov lus piav qhia yooj yim yog tias nyob rau hauv qhov kev ua ntawm lub zog siab, lub molecule yuav kov yeej lub zog van der Waals, lub zog sib txuas tshuaj lom neeg thiab lub zog Coulomb, thiab nthuav tawm ib daim ntawv ntawm hluav taws xob nruab nrab tag nrho. Tib lub sijhawm, lub zog siab uas muab los ntawm sab nraud kov yeej peb lub zog saum toj no. Kev ua haujlwm, electrons thiab ions nthuav tawm lub xeev dawb, uas tuaj yeem siv dag zog hauv qab kev hloov pauv ntawm lub teb sib nqus, xws li cov txheej txheem semiconductor etching, CVD txheej txheem, PVD thiab IMP txheej txheem.
Lub zog siab yog dab tsi? Hauv kev xav, ob qho tib si kub thiab zaus siab RF tuaj yeem siv tau. Feem ntau hais lus, qhov kub siab yuav luag tsis yooj yim sua kom ua tiav. Qhov kev xav tau kub no siab dhau thiab tej zaum yuav ze rau qhov kub ntawm lub hnub. Nws yeej tsis yooj yim sua kom ua tiav hauv cov txheej txheem. Yog li ntawd, kev lag luam feem ntau siv RF zaus siab kom ua tiav nws. Plasma RF tuaj yeem ncav cuag siab txog 13MHz+.
Tungsten hexafluoride yog plasmaized nyob rau hauv qhov kev ua ntawm lub teb hluav taws xob, thiab tom qab ntawd vapor-deposited los ntawm lub teb sib nqus. W atoms zoo ib yam li cov plaub goose lub caij ntuj no thiab poob rau hauv av nyob rau hauv qhov kev ua ntawm lub ntiajteb txawj nqus. Maj mam, W atoms raug tso rau hauv qhov dhau los, thiab thaum kawg puv puv qhov dhau los ua cov hlau sib txuas. Ntxiv nrog rau kev tso W atoms rau hauv qhov dhau los, lawv puas yuav raug tso rau ntawm qhov chaw ntawm Wafer? Yog, yeej muaj tseeb. Feem ntau hais lus, koj tuaj yeem siv cov txheej txheem W-CMP, uas yog qhov peb hu ua cov txheej txheem sib tsoo tshuab kom tshem tawm. Nws zoo ib yam li siv txhuam los txhuam hauv pem teb tom qab daus hnyav. Cov daus ntawm hauv av raug cheb mus, tab sis cov daus hauv qhov ntawm hauv av yuav nyob. Hauv qab, zoo ib yam.
Lub sijhawm tshaj tawm: Lub Kaum Ob Hlis-24-2021
