Cov kev nplua nuj tsis txaus ntseeg kev tswj hwm kev paub dhau los thiab ib tus neeg rau 1 tus qauv kev pabcuam ua rau qhov tseem ceeb ntawm kev sib txuas lus hauv lub koom haum thiab peb txoj kev nkag siab yooj yim ntawm koj qhov kev cia siab rau Cov Neeg Siv Khoom Zoo Zoo Siab Purity Excimer Laser Gas Premix Gas Arf (193 nm), Krf (248 nm) , Xecl (308 nm), Xef (450-520 nm) 16L / 20L / 47L Lub tog raj kheej, Tam sim no peb muaj plaub yam khoom. Peb cov khoom muag zoo tshaj plaws tsis yog hauv Suav teb tam sim no, tab sis kuj tau txais tos hauv kev lag luam thoob ntiaj teb.
Qhov kev nplua nuj zoo kawg nkaus kev tswj hwm kev paub dhau los thiab ib tus neeg rau 1 tus qauv kev pabcuam ua rau qhov tseem ceeb ntawm kev sib txuas lus hauv lub koom haum thiab peb nkag siab yooj yim ntawm koj cov kev cia siab rauTuam Tshoj Laser Gas thiab Excimer Laser Gas, Nrog ze li ntawm 30 xyoo kev paub hauv kev lag luam, peb tau muaj kev ntseeg siab hauv kev pabcuam zoo, zoo thiab xa khoom. Peb sov siab txais tos cov neeg siv khoom los ntawm thoob plaws lub ntiaj teb los koom tes nrog peb lub tuam txhab rau kev txhim kho.
Tag nrho cov roj ua haujlwm raws li cov khoom siv ntawm laser hu ua laser gas. Nws yog hom nyob rau hauv lub ntiaj teb no feem ntau, tsim lub ceev tshaj plaws, thov lub widest laser. Ib qho ntawm cov yam ntxwv tseem ceeb tshaj plaws ntawm cov roj lasers yog cov khoom siv laser ua haujlwm yog cov roj sib xyaw lossis ib qho roj ntshiab.
Cov khoom siv los ntawm cov roj laser tuaj yeem yog atomic gas, molecular gas, ionized ion gas thiab hlau vapor, thiab lwm yam, yog li nws tuaj yeem hu ua atomic laser gas (xws li helium-neon laser) thiab molecular laser gas (xws li carbon dioxide. ). Laser), ion laser gas (xws li argon laser), hlau vapor laser (xws li tooj liab vapor laser). Feem ntau hais lus, vim yog cov yam ntxwv ntawm cov roj laser, muaj qee yam uas tshwm sim los ntawm nws; Qhov zoo yog: cov roj molecules yog sib npaug sib npaug thiab lub zog theem yog qhov yooj yim, yog li lub teeb pom kev zoo ntawm cov roj laser sib xws thiab coherent. Zoo dua; Tsis tas li ntawd, cov roj molecules convection thiab circulate sai, thiab yooj yim kom txias. Ib qho ntawm cov yam ntxwv tseem ceeb tshaj plaws ntawm cov roj laser yog tias cov khoom siv laser ua haujlwm yog cov roj sib xyaw lossis ib qho roj ntshiab. Lub purity ntawm cov khoom siv roj hauv lub laser sib xyaw roj ncaj qha cuam tshuam rau kev ua haujlwm ntawm lub laser. Tshwj xeeb, muaj cov impurities xws li oxygen, dej, thiab hydrocarbons nyob rau hauv cov pa roj yuav ua rau poob ntawm lub laser tso zis hwj chim ntawm daim iav (sov) thiab electrode, thiab kuj ua rau lub laser tsis ruaj tsis khov tso tawm. Ib qho ntawm cov yam ntxwv tseem ceeb ntawm cov roj laser roj, cov khoom ua haujlwm ntawm lub laser yog cov roj sib xyaw lossis ib qho roj ntshiab. Yog li ntawd, muaj cov kev cai tshwj xeeb rau lub purity ntawm lub laser mix gas Cheebtsam. Lub tog raj kheej rau ntim cov roj sib xyaw yuav tsum tau qhuav ua ntej sau kom tsis txhob muaj cov pa sib xyaw ua ke. Yog hais tias lub helium (He) neon (Ne) laser siv los ua thawj tiam roj laser, thiab cov pa roj carbon dioxide laser yog lub thib ob tiam roj laser, lub krypton fluoride (KrF) laser, uas yuav dav siv nyob rau hauv lub semiconductor manufacturing teb. , tuaj yeem hu ua peb tiam laser. Laser roj sib tov yog siv rau hauv kev tsim khoom, kev tshawb fawb thiab kev tsim kho hauv tebchaws, kev kho mob phais thiab lwm yam haujlwm.
Qeb | Cov khoom (%) | Ntsuas Gas |
Nws-Ne Laser Mixture Gas | 2-8.3 Nws | He |
CO2 Laser Mixtures Gas | 0.4H2 + 13.5CO2 + 4.5Kr | / |
0.4 H2+ 13CO2+ 7Kr+ 2CO | ||
0.4 H2 + 8CO2 + 8Kr + 4CO | ||
0.4 H2 + 6CO2 + 8Kr + 2CO | ||
0.4 H2 + 16CO2 + 16Kr + 4CO | ||
0.4 H2 + 8 ~ 12CO2 + 8 ~ 12Kr | ||
Kr-F2 Laser Mixture Gas | 5 Kr+ 10 F2 | / |
5Kr+ 1 ~ 0.2 F2 | ||
Sealed Beam Laser Gas | 18.5N2+ 3Xe+ 2.5CO | / |
Excimer Laser | 25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 1F2 | Ar |
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 5F2 | He | |
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 0.2F2 | He | |
25.8Ne+ 9.8Ar+ 0.004N2+ 5HCl | Ar |
①Industrial Agricultural Production:
Nws yog dav siv hauv kev lag luam ua liaj ua teb, kev tshawb fawb tshawb fawb thiab kev tiv thaiv hauv tebchaws.
② Kev Kho Mob Kho Mob:
Nws yog siv rau kev kho mob phais.
③ Laser Ua:
Nws yog siv rau kev ua laser, xws li hlau ceramic txiav, vuam thiab drilling.
Lub sij hawm xa tuaj: 15-30 hnub ua haujlwm tom qab tau txais qhov tso nyiaj
Txheem pob: 10L, 47L lossis 50L lub tog raj kheej.
① High purity, qhov chaw tshiab;
② ISO daim ntawv pov thawj chaw tsim khoom;
③ Kev xa khoom sai;
④On-line tsom xam qhov system rau kev tswj kom zoo hauv txhua kauj ruam;
⑤ Cov kev xav tau siab thiab cov txheej txheem zoo rau kev tuav lub tog raj kheej ua ntej sau;